金融界2024年12月11日消息,国家知识产权局信息显示,泰州市永增金属制品有限公司申kaiyun体育全站 Kaiyun登录网页请一项名为“一种半导体设备零部件的清洁装置”的专利,公开号 CN 119098441 A,申请日期为 2024 年 8 月。
专利摘要显示,本发明公开了一种半导体设备零部件的清洁装置,包括支架,所述支架的底部固定连接有清洁箱,所述清洁箱的外表面滑动连接有密封板,还包括:吹气管,该吹气管固定连接在清洁箱底部,所述清洁箱的内腔底部固定连接有输送带;清洁组件,该清洁组件固定连接在清洁箱顶部;冷凝组件,该冷凝组件固定连接在清洁箱外表面,所述冷凝组件的外表面固定连接有固定板,所述冷凝组件远离固定板的位置连通有过滤组件,本发明涉及半导体设备技术领域。该半导体设备零部件的清洁装置,避免了清洁箱进行零部件清洁时发生气体泄漏的情况,便于吹气管在设备启动前后进行灰尘的清除,防止清洁箱内部因长时间清洁导致脏污,使得冷凝组件能够对清洁气体进行冷凝处理。
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